Описание
Программа профессионального обучения «Эмульсировщик прецизионной фотолитографии»
Цель программы
Подготовить квалифицированных специалистов, способных выполнять работы по нанесению светочувствительных эмульсий в процессе прецизионной фотолитографии с соблюдением технологических требований, норм безопасности и стандартов качества микроэлектронного производства.
Задачи программы
1. Освоить теоретические основы фотолитографического процесса и роли эмульсирования в нем.
2. Изучить свойства фоторезистов и вспомогательных материалов, правила их хранения и обращения.
3. Овладеть приемами подготовки поверхностей и нанесения эмульсий различными методами (центрифугирование, окунание, распыление).
4. Научиться настраивать и обслуживать оборудование для нанесения фоторезистов.
5. Освоить методы контроля качества нанесенного слоя (толщина, однородность, адгезия).
6. Изучить требования технической документации, ГОСТов и внутренних регламентов предприятия.
7. Освоить правила охраны труда, промышленной и экологической безопасности при работе с химическими реагентами.
8. Приобрести навыки выявления и устранения типичных дефектов нанесения фоторезиста.
Знания, которые получит обучающийся
— Основы физики и химии фотолитографических процессов.
— Виды и свойства фоторезистов (позитивные, негативные), их состав и особенности применения.
— Технологические режимы нанесения эмульсий (скорость вращения, температура, влажность).
— Устройство и принципы работы установок для нанесения фоторезистов (центрифуги, камеры нанесения).
— Методы контроля качества покрытия (микроскопия, эллипсометрия, профилометрия).
— Требования к чистоте помещений (класс чистоты ISO) и правилам работы в «чистых зонах».
— Нормативная документация: ТУ, ГОСТы, технологические карты, паспорта безопасности химических веществ (MSDS).
— Правила обращения с опасными химическими реагентами, утилизация отходов.
— Основы электробезопасности и пожарной безопасности на производстве.
— Причины возникновения дефектов (пузыри, полосы, неравномерность) и способы их предупреждения.
